C30B 19/00 - Жидкофазное выращивание эпитаксиальных слоев [3]
19/02 . с использованием расплавленных растворителей, например флюсов [3]
19/04 . . с растворителем, являющимся компонентом кристаллической композиции [3]
19/06 . реакционные камеры; лодочки для поддерживания расплава; держатели подложек [3]
19/08 . нагревание реакционной камеры или подложки [3]
19/10 . управление или регулирование (управление или регулирование вообще G05) [3]
19/12 . характеризуемое подложкой [3]